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2019级微纳实验班微纳工艺实训
作者:文/潘若辰        发布时间:2022-07-04        点击数:

为了增强微纳光电子科学与技术实验班学生的实践和创新能力,信息学院陶继方教授和刘苏玥老师于6月23日带领2019级微纳实验班的同学,赴北航歌尔微电子创新技术研究院开展了为期一周的工艺实训。

根据合理的教学安排,每位同学在实训前进行了芯片仿真设计的学习,并设计出各自的芯片和版图绘制。实训开始,北航的白中杨博士首先为同学们介绍了本次流片的工艺流程和注意事项。之后,在北航多位学长和工程师的指导下,同学们开始了工艺实训课程。在亲自动手体验了光刻、刻蚀、薄膜淀积等关键半导体工艺环节后,大家对这些曾经只出现在课堂上的半导体工艺技术有了更加深刻的认识。在此过程中,同学们既提高了专业水平和操作能力,也培养了半导体工艺所需的严谨态度。

在实习期间,研究院副院长温良恭研究员向同学们详细介绍了青岛北航微电子研究院的相关情况以及国家微电子产业的发展状况,并鼓励大家努力学习专业知识、追逐微电子领域前沿技术,为实现国家半导体产业振兴贡献一份力量。

微纳工艺实训课程是微纳光电子科学与技术实验班的核心课程之一,该课程以光电器件导论、微纳加工技术、半导体物理等前期课程为基础,通过芯片设计、版图绘制、工艺实训等环节,使学生系统了解并掌握微电子芯片开发所需要的主要流程,用于培养综合素质过硬、基础知识扎实、实践能力强、国家亟需的新工科人才。

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